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带隔膜元件的机械压力表
紧凑的设计可减少死体积，并减少颗粒的产生和截留
经氦气泄漏测试，泄漏率≤10 -9 mbarÂl / s
电抛光的润湿零件，膜片元件和测量室的Ra <0.25μm（Ra <10μin）的表面
带金属密封盘的电抛光316L的过程连接器组件，轨道焊接到测量室
1“和1.3”的标称尺寸非常适合涉及高达160 psi的气态，液态和腐蚀性介质的应用。WIKA小型隔膜压力计经过氦气泄漏测试，内部经过电抛光以满足纯度标准。具有这种超高压特性，微型隔膜计适用于半导体和平板行业，各种气体分配系统以及医用气体应用。迷你隔膜计符合SEMATECH和SEMI标准。
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